Saracinesca a coltello

Le strutture delle valvole di regolazione della pressione a flusso incrociato sono interessanti per le applicazioni di controllo della pressione ad alto flusso grazie alla ridotta forza di attuazione richiesta e alla ridotta area di ingombro del dispositivo. È stata fabbricata una valvola a saracinesca a coltello, che controlla un flusso di 1,3 Nl/min a una pressione di alimentazione di 1,5 bar. La valvola è stata microfabbricata mediante attacco ionico reattivo profondo (DRIE) e legame di fusione di silicio. L'uso di valvole a saracinesca a coltello micro lavorate nei sistemi di controllo della pressione migliora le prestazioni e si possono realizzare risparmi sui costi.